產品功能:

◆設備烘幹，然結一體化結構緊湊合理，符合半導體製造標準。

◆穩定可靠的工藝溫度控製係統（采用英國WEST溫度控製器）。

◆采用美國進口加熱燈管加熱。

◆采用先進的文氏排氣係統，從而保證了有害氣體的不泄露。

◆設備控製采用工業控製機統一控製。